Hochleistungskeramik für Halbleiter
Über 100 Jahre Erfahrung in der technischen Keramik, kombiniert mit umfassendem Prozess-Know-how und hervorragenden Produkteigenschaften machen uns zu einem der Lösungspartner, wenn es um keramische Komponenten für die Halbleiterindustrie geht - von Wafer-Polierplatten bis hin zu Elektrostatischen Chucks. Diese Keramiken werden extremen Fertigungs- und Handlingsbedingungen ausgesetzt, dabei müssen sie höchsten chemischen und physikalischen Belastungen widerstehen und dabei dauerhaft zuverlässig und präzise funktionieren.
Unverzichtbar für das Halbleiter-Geschäft
Entdecken Sie die Vorteile unseres Portfolios an Hochleistungskeramiken und profitieren Sie von unserer Lösungskompetenz für eine Vielzahl von Bearbeitungs- und Fertigungsprozessen in der Halbleiterindustrie. Wir entwickeln unsere keramischen Komponenten und Teile nach Ihren individuellen Anwendungsanforderungen, damit Sie Ihre Prozesse flexibel und zuverlässig ausführen können.
Wir sehen uns nicht nur als reinen Hersteller von qualitativ hochwertigen Industriekeramikprodukten, sondern vielmehr als starken Entwicklungspartner, der gemeinsam mit Ihnen Ihre Anforderungen in individuelle Lösungen realisiert: mit langlebigen Produkten, in nahezu jeder gewünschten Geometrie, mit den geforderten Materialeigenschaften und optimaler Funktionalität. Dazu extrem widerstandsfähig gegen Hitze, wechselnde Temperaturen, mechanische Belastung und aggressive Chemikalien.
Ihr Erfolg ist unser Ziel
Nutzen Sie die Vorteile und vertrauen Sie auf die Keramik-Experten von CeramTec. Ob in der Wafer Bearbeitung, der Halbleiterfertigung oder dem Handling - unsere Komponenten aus hochreiner technischer Keramik (Al2O3 / AlN / SiC) sorgen für dauerhafte Leistung und Zuverlässigkeit. Dadurch profitieren Sie von höherer Effizienz und Zuverlässigkeit.
- Grundsätzliche Eignung von Keramik
- Auswahl der Materialien
- Maßgeschneidertes Design & Konstruktion
- Prototypen
- Risikomanagement
- Simulieren und Modellieren
- Spezifikation
- Qualitätssicherung
- Serienproduktion
- Änderungsmanagement
- Audits
- Produktschulung
- Anwendungsschulung
- Weiterentwicklung und Know-How-Transfer
- Grundsätzliche Eignung von Keramik
- Auswahl der Materialien
- Maßgeschneidertes Design & Konstruktion
- Prototypen
- Risikomanagement
- Simulieren und Modellieren
- Spezifikation
- Qualitätssicherung
- Serienproduktion
- Änderungsmanagement
- Audits
- Produktschulung
- Anwendungsschulung
- Weiterentwicklung und Know-How-Transfer
Bauteile für die Halbleiterindustrie
| Produkt | Eigenschaften | Material |
| Wafer-Polierplatte | • Hohe Steifigkeit • Gute chemische Beständigkeit • Kontrolle der Oberflächenform / Rauheit | Al2O3 RUBALIT |
| Wafer-Polierplatte | • Hohe Wärmeleitfähigkeit • Geringe thermische Ausdehnung • Hohe Steifigkeit | SiC ROCAR |
| Elektrostatische Chucks | • Hoher Reinheitsgrad • Hohe Plasmalebensdauer • Hohe Spann-/und Entlastungsreaktion | SiC ROCAR |
| Vakuum Chucks | • Hoher Reinheitsgrad • Gute chemische Beständigkeit • Vielfalt der Oberflächengestaltung | SiC ROCAR |
| Endeffektoren / Waferhandling | • Hoher Reinheitsgrad • Hochglanzpolierte Oberfläche | Al2O3 |
| Endeffektoren / Waferhandling | • Hoher Reinheitsgrad • Gute chemische Beständigkeit • Hohe Steifigkeit • Hochglanzpolierte Oberfläche | SiC ROCAR |
| Chamber Rings / Sputtering Targets | • Hoher Reinheitsgrad • Hohe Plasmalebensdauer • Hoher Übertragungsfaktor | Al2O3 / SiC / AlN RUBALIT |
| Metallisierte Produkte | • IC -Gehäuse • Hochvakuum-Komponenten • Hochspannungsterminal | Al2O3 RUBALIT Stainless Steel Kovar |
